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光刻机概念股早间放量高开高走，板块指数盘中大涨逾3%，创历史新高，半日成交超前一交易日全天成交。蓝英装备开盘仅约6分钟就垂直20%涨停，凯美特气、中瓷电子、常青科技等也在5分钟内快速涨停。

下图展示了本周因子在沪深300、中证500和流动性1500股票池中的表现，收益为剔除行业与市值影响后多头组合相对于基准指数的超额收益。