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此前台积电业务开发资深副总经理张晓强表示，虽然对High—NA EUV能力印象深刻，但设备价格超过3.5亿欧元。目前的标准型EUV光刻机，仍可以支持台积电尖端制程的生产到2026年，台积电尖端制程A16也将会继续采用标准型EUV光刻机来进行生产。