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三星及其竞争对手SK海力士均已决定推迟在DRAM生产中引入High—NA EUV技术的时间。原因是工具设备的成本过高，另外DRAM架构即将发生变化，从而让存储器制造商在High-NA EUV技术上采取更为谨慎的态度。

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