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值得关注的是，512810尾盘溢价再度走高，收盘溢价率仍有0.19%，反映买盘资金再占上风。上日已有超7400万元资金提前进场。

此前台积电业务开发资深副总经理张晓强表示，虽然对High—NA EUV能力印象深刻，但设备价格超过3.5亿欧元。目前的标准型EUV光刻机，仍可以支持台积电尖端制程的生产到2026年，台积电尖端制程A16也将会继续采用标准型EUV光刻机来进行生产。